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A 、光化學法
  原理：光波中的紫外光會使氧分子分解并聚合為臭氧。光化學法就是產(chǎn)生出波長 λ =185nm(10 9 m) 的紫外光譜，這種光最容易被 O2 吸收而達到產(chǎn)生臭氧的效果。
  優(yōu)點：產(chǎn)生的臭氧純度高，對濕度、溫度不敏感，具有很好的重復性。
  缺點：能耗較高。

B 、電化學法
  原理：利用直流電源電解含氧電解質(zhì)產(chǎn)生臭氧氣體。目前電解液多為水內(nèi)填加酸、鹽類電解質(zhì)或純水。
  優(yōu)點：濃度高、成份純凈、水中溶解度高。
  缺點：產(chǎn)量低、耗電量大、造價高。

C 、電暈放電法
  原理：模仿自然界雷電產(chǎn)生臭氧的方法，通過人為的交變高壓電場在氣體中產(chǎn)生離子體，使空氣中的氧分子在離子體中反應，經(jīng)碰撞合為O3 分子。
    優(yōu)點：能效比好、經(jīng)濟、性能穩(wěn)定、維護成本低、易操作、產(chǎn)量大。
    缺點：會伴隨有NOX。